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半导体用多级罗茨真空泵高真空高洁净

联系人：郑晓彤女士((销售))

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详细信息

采用无油中间密封，多重密封方式，确保转子腔内部高洁净真空环境。
先进的数控加工中心加工，确保转子良好的几何对称性，低噪音高寿命。
采用特殊的轴封方式实现长期稳定运行。
节能环保，不产生废油，油烟和废水，采用永磁变频电机驱动节能率达30%以上

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